نام کاربری یا پست الکترونیکی
رمز عبور

205015 Fuzzy logic model of Langmuir probe discharge data

Abstract:

Plasma models are crucial to gain physical insights into complex discharges as well as to optimizing plasma-driven processes. As an alternative to physical model, a qualitative model was constructed using adaptive fuzzy logic called adaptive network fuzzy inference system (ANFIS). Prediction performance of ANFIS was evaluated on two sets of experimental discharge data. One referred to as hemispherical inductively coupled plasma (HICP) was characterized with a 24 full factorial experiment, in which the factors that were varied include source power, pressure, chuck position, and Cl2 flow rate. The other called multipole ICP was characterized by performing a 33 full factorial experiment on the factors, including source power, pressure, and Ar flow rate. Trained ANFIS models were tested on eight and 16 experiments not pertaining to previous training data for HICP and MICP, respectively. Plasma attributes modeled include electron density, electron temperature, and plasma potential. The performance of ANFIS was optimized as a function of a type of membership function, number of membership function, and two learning factors. The number of membership functions was different depending on the type of plasma data and employing too large number of membership functions resulted in a drastic degradation in prediction performances. Optimized ANFIS models were compared to statistical regression models and demonstrated improved predictions in all comparisons.

:Authors

Byungwhan Kim, Jang Hyun Park, Beom-Soo Kim

Keywords:

Plasma modeling, Backpropagation neural networks, Experimental design, Prediction, Adaptive network fuzzy inference system, Statistical response surface models

 

download-icon Fuzzy logic model of Langmuir probe discharge data

دپارتمان های علمی

درباره کنسرسیوم

پنل آموزشی

آمار سایت

تعداد اعضای آنلاین : 0

تعداد کل اعضای کنسرسیوم : 1734

برای مشاهده اعضای آنلاین کلیک کنید

مراکز خدماتی و رفاهی طرف قرارداد

marakez

مدیر موفق جایگاه داروساز محققان دوربین تاريخچه وسایل اندازه گيری پزشكی بررسی حقوقی روشهای نوین باروری مصنوعی، مادر جانشین تشخیص گیاهان دارویی نقشه کشی جوش گواهی استاندارد افتتاح آموزش تعمیر تجهیزات پزشکی در تبریز علوم پایه سرطان ها دستیار دندانپزشک در رشت ژوهشکده‌های فیزیکی و نجومی علم ژنتیک معلمان الکترو شوک CORPULS توموگرافی دودکشچال حوض اکسیژن درمانی VISUAL رگ های خونی چاپ شده دوره تعمیر تجهیزات پزشکی در تبریز آموزش دستیار دندانپزشک در قم تعمیر دستگاه سونا تست آموزش دستیاری دندانپزشکی در قم ميلاد شاخه های رشته مهندسی پزشکی شات بلاست علي بن موسي الرضا dental کاهش شنوایی خرید ترک یاب ﻣﺮاﻛﺰ ﺧﺮﻳﺪ ﺷﺒﺎﻧﻪ رویش دوباره دندان آگهی استخدام دستیار دندانپزشکی در کرمان پمپ های وکیوم پودرهيدروكسي اسلگ تلفن همراه AVEVA مدلسازی موفقیت و مؤثر بودن • تصویربرداری مولکولی چیست؟ بازرسی پاپینگ چگالي‌ها ذرات مغناطیسی آدرس آموزشگاه تکنسین داروخانه در تبریز اورلپ الکترونیک شب قدر کرامت جراحی بافت نرم دستیار دندانپزشک جهاد دانشگاهی قم آموزش تعمیر تجهیزات بیمارستانی موارد کاربرد اتوکلاو تایید صلاحیت جوشکار چاپگرهای سه بعدی بازرسی غیر مخرب SPECT اولین رادیو

logo Fuzzy logic model of Langmuir probe discharge data

حامیان کنسرسیوم ایرکاس

  • IRSME
  • RKA
  • ACS
  • IUE
  • RFTC
  • BQC
  • DNW
  • ICS
  • TUV-EMB
  • QAL
  • Ino
  • Allaiance
  • Tckit

تبلیغات در ایرکاس

دسترسی به ژورنال مقالات

az3

تصاویر اینستاگرام ایرکاس