نام کاربری یا پست الکترونیکی
رمز عبور

205015 Fuzzy logic model of Langmuir probe discharge data

Abstract:

Plasma models are crucial to gain physical insights into complex discharges as well as to optimizing plasma-driven processes. As an alternative to physical model, a qualitative model was constructed using adaptive fuzzy logic called adaptive network fuzzy inference system (ANFIS). Prediction performance of ANFIS was evaluated on two sets of experimental discharge data. One referred to as hemispherical inductively coupled plasma (HICP) was characterized with a 24 full factorial experiment, in which the factors that were varied include source power, pressure, chuck position, and Cl2 flow rate. The other called multipole ICP was characterized by performing a 33 full factorial experiment on the factors, including source power, pressure, and Ar flow rate. Trained ANFIS models were tested on eight and 16 experiments not pertaining to previous training data for HICP and MICP, respectively. Plasma attributes modeled include electron density, electron temperature, and plasma potential. The performance of ANFIS was optimized as a function of a type of membership function, number of membership function, and two learning factors. The number of membership functions was different depending on the type of plasma data and employing too large number of membership functions resulted in a drastic degradation in prediction performances. Optimized ANFIS models were compared to statistical regression models and demonstrated improved predictions in all comparisons.

:Authors

Byungwhan Kim, Jang Hyun Park, Beom-Soo Kim

Keywords:

Plasma modeling, Backpropagation neural networks, Experimental design, Prediction, Adaptive network fuzzy inference system, Statistical response surface models

 

download-icon Fuzzy logic model of Langmuir probe discharge data

دپارتمان های علمی

درباره کنسرسیوم

پنل آموزشی

آمار سایت

تعداد اعضای آنلاین : 0

تعداد کل اعضای کنسرسیوم : 1735

برای مشاهده اعضای آنلاین کلیک کنید

مراکز خدماتی و رفاهی طرف قرارداد

marakez

پرینت DNA انسان رادیو داروی پوزیترون محرم aws جزوات آموزشی دستیاری دندانپزشکی شرکت بازرسی آموزش گیاهان دارویی و طب سنتی در اردبیل رIT تست سیم بکسل مدرک icdl فوری تبریز مدرک icdl فوری تبریز کالیبراسیون دستگاه فتومتر مولکول رعايت مفاد اين آيين‏ نامه و دستورالعمل‏های ابلاغی بازرسی فنی مشکلات نبولایزر MMSBکنسرسیوم ایرکاس آموزشگاه مهندسی پزشکی مدار چشم مزایا و معایب لیزر در دندانپزشکی موقعیت های جوشکاری انجمن نجوم اخترشناسی جبرئیل متالوژی استخوان سازی بازرسی به روش نشت شار پاتولوژی شب بيست و يكم شرکت هواپیمایی دوره های آموزشی مرکز آموزش کامپیوتر در تبریز مرکز آموزش کامپیوتر در تبریز دندان دائمی آستانه ادراک حقوق دستیار دندانپزشک در اهواز شهریار اصول نگهداری و کالیبراسیون دستگاه پمپ سرنگ آموزش نرم افزار داروخانه در اهر ماری كوری طب سنتی درد شدید عمل جراحی CRISRP تشخیص بیماری های قلبی جراحی مغز و اعصاب دوره گیاهان دارویی در مشهد پرینت سه بعدی انسان دوره نسخه خوانی Oxygen mobile پلاکت ایرموتور موتور نماز خانه سنت بندیکت از زمتور خدمات پس از فروش تومور مغزی تصویربرداری در پزشکی الکترو شوک schiller ژنتیک انسانی مواد مصرفی جوشکاری تکنسین دارویی آمرزش شناسايي گیاهان دارويي با توجه به مزاج در تبریز

logo Fuzzy logic model of Langmuir probe discharge data

حامیان کنسرسیوم ایرکاس

  • IRSME
  • RKA
  • ACS
  • IUE
  • RFTC
  • BQC
  • DNW
  • ICS
  • TUV-EMB
  • QAL
  • Ino
  • Allaiance
  • Tckit

تبلیغات در ایرکاس

دسترسی به ژورنال مقالات

az3

تصاویر اینستاگرام ایرکاس