نام کاربری یا پست الکترونیکی
رمز عبور

205015 Fuzzy logic model of Langmuir probe discharge data

Abstract:

Plasma models are crucial to gain physical insights into complex discharges as well as to optimizing plasma-driven processes. As an alternative to physical model, a qualitative model was constructed using adaptive fuzzy logic called adaptive network fuzzy inference system (ANFIS). Prediction performance of ANFIS was evaluated on two sets of experimental discharge data. One referred to as hemispherical inductively coupled plasma (HICP) was characterized with a 24 full factorial experiment, in which the factors that were varied include source power, pressure, chuck position, and Cl2 flow rate. The other called multipole ICP was characterized by performing a 33 full factorial experiment on the factors, including source power, pressure, and Ar flow rate. Trained ANFIS models were tested on eight and 16 experiments not pertaining to previous training data for HICP and MICP, respectively. Plasma attributes modeled include electron density, electron temperature, and plasma potential. The performance of ANFIS was optimized as a function of a type of membership function, number of membership function, and two learning factors. The number of membership functions was different depending on the type of plasma data and employing too large number of membership functions resulted in a drastic degradation in prediction performances. Optimized ANFIS models were compared to statistical regression models and demonstrated improved predictions in all comparisons.

:Authors

Byungwhan Kim, Jang Hyun Park, Beom-Soo Kim

Keywords:

Plasma modeling, Backpropagation neural networks, Experimental design, Prediction, Adaptive network fuzzy inference system, Statistical response surface models

 

download-icon Fuzzy logic model of Langmuir probe discharge data

دپارتمان های علمی

درباره کنسرسیوم

پنل آموزشی

آمار سایت

تعداد اعضای آنلاین : 0

تعداد کل اعضای کنسرسیوم : 1675

برای مشاهده اعضای آنلاین کلیک کنید

مراکز خدماتی و رفاهی طرف قرارداد

marakez

مارتنزیت درباره آیین نامه واردات و صادرات تجهیزات پزشکی ﻣﺮاﻛﺰ ﺧﺮﻳﺪ ﺷﺒﺎﻧﻪ نقاط دسترسی و کنترل کننده (Access Point) بهیاری خرید یوک مدلسازی سه بعدی اکسیژن ساز تست فراصوتی امنیت در فلوئوروسکپی تقویم آموزشی مدیریت تجهیزات ساختمان کامپیوتر نانو پزشکی آشنایی با اصول روش های بازرسی جوش در تبریز تصاویر توموگرافی دوره تعمیر تجهیزات پزشکی در تبریز کلاس های آموزش برنامه نویسی در تبریز نتیک نارسایی كارشناسی مهندسی پزشکی اهمیت درخت کاری در اسلام موتور دستیار دندانپزشک مشهد حالا افراد ناشنوا دوره آموزشی تعمیرات تجهیزات آموزش تعمیر لایت کیور آموزش مجازی NDT هلال ماه دهان انجمن تست های غیر مخرب جزوات دستياري دندانپزشكي دوره ایمنی و بهداشت صنعتی (HSE) در نیشابور پاسدار علم ژنتیک چاپ اعضای بدن جریان متناوب پراب زاویه دار نانو فناوری آموزش مهندسی پزشکی پودرهيدروكسي کیفیت زندگی بیماران سرطان تیروئید لوله جوشکاری مقاومتی آموزش تعمیر جان كیز رویکرد جدید عیب یابی حفاطت کاتدی بازاریاب حرفه ای غیر مخرب پیشرفته آموزش تعمیرات یونیت دندانپزشکی عضلات چشم نگهداری از اتوکلاو MMSB مهندسی پزشکی ایران أبوعلى ;کنسرسیوم ایرکاس اثرات دارو دستیار دندانپزشکی در تبریز

logo Fuzzy logic model of Langmuir probe discharge data

حامیان کنسرسیوم ایرکاس

  • IRSME
  • RKA
  • ACS
  • IUE
  • RFTC
  • BQC
  • DNW
  • ICS
  • TUV-EMB
  • QAL
  • Ino
  • Allaiance
  • Tckit

تبلیغات در ایرکاس

دسترسی به ژورنال مقالات

az3

تصاویر اینستاگرام ایرکاس